美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導(dǎo)體零部件的供應(yīng)商，在氣體、真空儀器及制程控制應(yīng)用等方面有技術(shù)獨(dú)到之處，美*機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和制造過程中。上海MKS經(jīng)銷專業(yè)供應(yīng)美國MKS流量計(jì) 美國MKS薄膜真空計(jì) 美國MKS傳感器 美國MKS流量控制閥 美國MKS壓力開關(guān)代表型號：AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645,LIQUOZON,NOVA-25,NOVA-50,SPECTRUM B5002, SPECTRUM B11002,ACG-3B,ACG-6B,ACG-10B,GHW-12,GHW-25,GHW-50,SPECTRUM 3013,SUREPOWER QL3513.....

閥門

MKS是一家的高可靠性，高精度不銹鋼真空隔離閥和壓力控制閥。MKS系列真空隔離閥，波紋管和球閥，手動，氣動和電動氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)閥門在加熱或不加熱的角度和內(nèi)嵌的配置，安全切斷閥和軟啟動閥。我們的壓力控制閥生產(chǎn)線包括擺，蝴蝶，葉片和閥芯節(jié)流閥集成控制子系統(tǒng)。

壓力/真空測量的Baratron®直接壓力/真空電容壓力計(jì) HPS®真空傳感器，儀表，傳感器和控制器

MKS是壓力和真空測量領(lǐng)域的。在的MKS家庭的壓力和真空測量儀器的Baratron®電容壓力表，壓力傳感器，壓力開關(guān)，壓力控制子系統(tǒng)，真空壓力表，真空壓力傳感器，真空壓力表控制器。

殘余氣體分析/質(zhì)譜法RGA原位過程監(jiān)測，泄漏檢測與分析

RGA在原位過程監(jiān)測

MKS 質(zhì)譜氣體分析儀產(chǎn)品創(chuàng)新的原位過程監(jiān)測儀器*集成的，應(yīng)用程序特定的軟件包，包括成分的殘留氣體分析儀（個(gè)RGAs），網(wǎng)絡(luò)功能的RGA的分析設(shè)備和工藝的RGAs和控制軟件。

• 真空監(jiān)測和電子診斷
• 超高真空（UHV）
• CVD過程
• 真空基線RGA
• 離子注入
• 光致抗蝕劑檢測
• 高壓RGA
• PVD
• 蝕刻
• 擴(kuò)散
• 轉(zhuǎn)移室監(jiān)控
• 泄漏檢測
• 大氣壓力氣體分析

FTIR，NDIR紅外氣體分析儀器

FTIR（傅立葉變換紅外）和NDIR（非色散紅外）實(shí)時(shí)的時(shí)間和在線氣體分析儀器從MKS儀器能夠?yàn)槎鄠€(gè)氣體種類，包括NF ₃，NH ₃，H ₂，NO和N ₂個(gè)ppb到ppm靈敏度O和高達(dá)30％的水與氣體。

GLM™-2000 少數(shù)載流子壽命監(jiān)視器真穩(wěn)態(tài)少數(shù)載流子的壽命（Gtau），光導(dǎo)率的上升和衰減及薄膜電阻
 

放大

GLM™-2000少數(shù)載流子壽命監(jiān)控器是一種精密儀器，采用了的變壓器耦合光電導(dǎo)方法，同時(shí)測量真穩(wěn)態(tài)少數(shù)載流子的壽命（Gtau測量），光導(dǎo)率的上升和下降及薄膜電阻。這需要現(xiàn)有的業(yè)界*的計(jì)量方法，并結(jié)合高速電子固態(tài)照明技術(shù)，噪聲抑制，以及強(qiáng)大的的食譜驅(qū)動軟件是一個(gè)工具，操作方便，簡單易懂，和可重復(fù)的結(jié)果導(dǎo)致。

用于晶體硅光伏電池的硅的質(zhì)量有直接的影響的質(zhì)量，或轉(zhuǎn)換效率，（太陽能電池）的zui終產(chǎn)品。我們的目標(biāo)是盡可能多的入射能量，或載體轉(zhuǎn)移，電路的輸出或細(xì)胞。做到這一點(diǎn)，在一部分中，通過zui小化任何重組的載體。電信運(yùn)營商重組，當(dāng)他們接觸過的缺陷或雜質(zhì)的硅。重組時(shí)間從細(xì)胞的電勢輸出電流。

少數(shù)載流子壽命測量，是一種定量評估的基礎(chǔ)硅的質(zhì)量，因?yàn)檩^低的少數(shù)載流子壽命是在硅中的雜質(zhì)和缺陷的跡象。此外，測量薄層電阻和光電導(dǎo)衰減（PCD）進(jìn)一步提供對表面復(fù)合的影響的信息，并作為切割檢查通過ARC沉積的光伏電池的制造過程中的質(zhì)量從。

控制系統(tǒng)，工業(yè)自動化控制器，嵌入式Analytics（分析），I / O，網(wǎng)關(guān)，緊湊型PCI網(wǎng)絡(luò)監(jiān)視器，工業(yè)以太網(wǎng)，以太網(wǎng)/ IP和DeviceNet，Profibus，Modbus總線，EtherCAT中，CAN，Linux的，HSMS，SECS，接口

新的特色產(chǎn)品：ECM2控制平臺。

先鋒產(chǎn)業(yè)平臺，控制，通信協(xié)議和網(wǎng)關(guān)技術(shù)，MKS的關(guān)鍵組成部分和經(jīng)驗(yàn)，為分布式控制和過程監(jiān)控為我們的客戶提供的技術(shù)，個(gè)性化他們的具體要求。此外，商業(yè)“現(xiàn)成的”產(chǎn)品使我們的客戶能夠快速部署的解決方案，通過易于使用的平臺。

MKS Instruments公司的控制和自動化產(chǎn)品團(tuán)隊(duì)可以幫助您定義，設(shè)計(jì)和制造下一代控制器。我們專注于提供的高密度混合I / O以zui快的現(xiàn)場總線網(wǎng)絡(luò)技術(shù)相結(jié)合，為您帶來一個(gè)控制器，這將節(jié)省您的成本比當(dāng)前解決方案，將大大減少你的時(shí)間，市場。

現(xiàn)場總線

以太網(wǎng)現(xiàn)場總線控制器連接到您的網(wǎng)絡(luò)正在改變。EtherCAT技術(shù)的DeviceNet™，以太網(wǎng)/ IP™，PROFIBUS，MODBUS-TCP，可以打開網(wǎng)絡(luò)所支持的MKS Instruments公司的成套控制產(chǎn)品。

混合高密度I / O

MKS Instruments公司的控制產(chǎn)品包含混合I / O，讓您以在市場上每點(diǎn)的高密度。高分辨率和高度的模擬和數(shù)字I / O，加干觸點(diǎn)繼電器和溫度的I / O控制器建立一個(gè)靈活的環(huán)境，你所需要的具體規(guī)格。

嵌入式邏輯

MKS Instruments公司的產(chǎn)品支持PLC IEC61131-3標(biāo)準(zhǔn)，以及MKS'的自己cLogic®嵌入式應(yīng)用程序。這些平臺讓你寫你的梯形圖，功能塊圖，結(jié)構(gòu)化文本和ANSI C控制算法，同時(shí)給你zui大的靈活性和功能。我們的應(yīng)用工程師寫的一些常見用途的范例程式碼（PID，PWM，計(jì)數(shù)器等），所以你不必。

RTOS和Linux操作系統(tǒng)

MKS Instruments公司的控制和自動化產(chǎn)品套件可與實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)（RTOS）和Linux操作系統(tǒng)平臺。