德國(guó)LEYBOLD萊寶TTR91真空計(jì)使用方法 德國(guó)萊寶真空計(jì)皮拉尼電阻規(guī): 皮拉尼電阻規(guī) 也叫做熱電阻真空計(jì),它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí),由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。 1·如果配合電橋測(cè)量熱絲電阻的變化,將有效提高測(cè)量的準(zhǔn)確度。 2·這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。 3·由于不同氣體在相同氣壓時(shí)導(dǎo)熱性不同,所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。 4·德國(guó)萊寶真空計(jì)熱電熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測(cè)量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測(cè)量熱比的溫度變化。 5·測(cè)量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。 6·與皮拉尼電阻規(guī)一樣,這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。
德國(guó)LEYBOLD萊寶TTR91真空計(jì)使用方法 1·薄膜電容規(guī) ,在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形,使得金屬膜片和電極之間的電容變化,通過(guò)測(cè)量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化。 2·這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí),比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。 3·這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響,使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。 德國(guó)leybold真空計(jì)熱電偶規(guī)-----熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測(cè)量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測(cè)量熱比的溫度變化。 1·測(cè)量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。 2·與皮拉尼電阻規(guī)一樣,這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。 3·德國(guó)萊寶真空計(jì)熱陰極電離規(guī) 4·熱陰極電離規(guī)中,由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,電離真空中的氣體分子,產(chǎn)生離子,由收集極收集產(chǎn)生的離子,形成離子電流,通過(guò)測(cè)量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進(jìn)而得到氣壓大小。 5·這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。 6·經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī),Bayard-Alpert規(guī),可以將測(cè)量下限降低至1.0E-09Pa。 7·由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定。 德國(guó)LEYBOLD萊寶TTR91真空計(jì)使用方法 |